MEMS 及微机械加速度计可靠性研究

摘要：

由于 MEMS 器件的应用日益频繁，MEMS可靠性研究就显得十分重要。文中介绍了引起可靠性问题的方面。最后以微机械加速度计为例，指出了微加速度计的可靠性问题，以及对其可靠性测试研究的内容。