器件结构参数及工艺对 ESD 的影响

摘要：

随着深亚微米时代的到来，工艺的不断进步，器件尺寸成比例缩小， IC 的抗静电能力显得更加重要，本文综述了部分器件结构，参数及工艺流程对器件抗 ESD 性能的影响。